A na-akwụ ụgwọ nchedo gburugburu ebe obibi na-elebara anya karị, karịsịa na mmụba nke ihu igwe haze.Injinia ime ụlọ dị ọcha bụ otu n'ime usoro nchekwa gburugburu ebe obibi.Kedu otu esi eji injinia ime ụlọ dị ọcha rụọ ọrụ dị mma na nchekwa gburugburu?Ka anyị kwuo maka njikwa na injinia ime ụlọ dị ọcha.
njikwa okpomọkụ na iru mmiri n'ime ụlọ dị ọcha
A na-ekpebi ọnọdụ okpomọkụ na iru mmiri nke oghere dị ọcha na-adabere na ihe ndị a chọrọ, ma mgbe ị na-ezute usoro a chọrọ, ekwesịrị iburu n'uche nkasi obi mmadụ.Site na nkwalite nke ịdị ọcha ikuku chọrọ, enwere usoro nke ihe siri ike chọrọ maka okpomọkụ na iru mmiri na usoro.
Dị ka ụkpụrụ n'ozuzu, n'ihi nhazi nke nhazi na-arịwanye elu, ihe ndị a chọrọ maka mgbanwe mgbanwe okpomọkụ na-adị ntakịrị na obere.Dị ka ihe atụ, na lithography na ikpughe usoro nke nnukwu-ọnụ ọgụgụ integrated sekit mmepụta, ihe dị iche na thermal mgbasa coefficient n'etiti iko na silicon wafers eji dị ka ihe nkpuchi na-aghọwanye obere.
Ngwunye silicon nke nwere dayameta nke 100 μm na-ebute mgbasawanye ahịrị 0.24 μm mgbe okpomọkụ na-ebili site na 1 degrees.Ya mere, a na-ekpo ọkụ mgbe nile nke ± 0.1 ℃ dị mkpa, na iru mmiri uru bụ n'ozuzu ala n'ihi na mgbe sweating, ngwaahịa ga-emerụ, karịsịa na semiconductor ogbako na-atụ egwu sodium.Ụdị ogbako a ekwesịghị gafere 25 ℃.
Oke iru mmiri na-akpatakwu nsogbu.Mgbe oke iru mmiri gafere 55%, condensation ga-etolite na mgbidi ọkpọkọ mmiri jụrụ oyi.Ọ bụrụ na ọ na-eme na ngwaọrụ nkenke ma ọ bụ sekit, ọ nwere ike ịkpata ihe mberede dị iche iche.Mgbe iru mmiri dị 50%, ọ dị mfe nchara.Tụkwasị na nke ahụ, mgbe iru mmiri dị oke elu, ájá na-ejikọta na elu nke silicon wafer ga-eji kemịkal na-adaba n'elu site na mmiri mmiri na ikuku, nke siri ike iwepụ.
Dị ka iru mmiri dị elu dị elu, otú ahụ ka ọ na-esiwanye ike iwepụ nrapado.Otú ọ dị, mgbe iru mmiri dị n'okpuru 30%, a na-etinyekwa ihe ndị dị n'ime ya ngwa ngwa n'elu n'ihi ọrụ nke ike electrostatic, na ọnụ ọgụgụ dị ukwuu nke semiconductor ngwaọrụ na-adịkarị mfe imebi.Ọnọdụ okpomọkụ kachasị mma maka mmepụta silicon wafer bụ 35-45%.
Nrụgide ikukunjikwan'ime ụlọ dị ọcha
Maka ọtụtụ oghere dị ọcha, iji gbochie mmetọ mpụga site na ịwakpo, ọ dị mkpa iji nọgide na-enwe nrụgide dị n'ime (nrụgide static) dị elu karịa nrụgide mpụga (nrụgide static).Ndozi nke ọdịiche nrụgide kwesịrị n'ozuzu soro ụkpụrụ ndị a:
1. Nrụgide na oghere dị ọcha kwesịrị ịdị elu karịa nke na-adịghị ọcha.
2. Nrụgide na oghere ndị nwere ọkwa ịdị ọcha dị elu kwesịrị ịdị elu karịa nke dị n'akụkụ oghere ndị nwere ọkwa dị ala.
3. Ekwesịrị imeghe ọnụ ụzọ dị n'etiti ọnụ ụlọ dị ọcha n'akụkụ ọnụ ụlọ nwere ọkwa ịdị ọcha dị elu.
Nlekọta nke nrụgide dị iche iche na-adabere na ọnụọgụ nke ikuku ọhụrụ, nke kwesịrị inwe ike ịkwụ ụgwọ maka nkwụsị nke ikuku site na ọdịiche dị n'okpuru nrụgide nrụgide a.Ya mere, ihe dị iche iche nrụgide pụtara n'anụ ahụ bụ nguzogide nke ntapu (ma ọ bụ infiltration) ikuku na-asọ site na oghere dị iche iche n'ime ụlọ dị ọcha.
Oge nzipu: Jul-21-2023